在国产替代加速的背景下，半导体材料设备领域表现突出，科创半导体也备受关注，以下是具体情况：半导体材料设备国产进展显著 设备企业业绩增长强劲：据《科创板日报》统计，2025年上半年，科创板13家半导体设备企业中，12家实现营收正增长，其中2家增速超五成、5家增速超四成；8家企业归母净利润为正且同比增长，2家增速超七成。例如，拓荆科技上半年营业收入19.54亿元，同比增长54.25%，其先进制程的验证机台已顺利通过客户认证，进入规模化量产阶段；中科飞测上半年营收7.02亿元，同比增长51.39%，其明暗场设备已进入国内多家头部客户产线进行工艺开发与应用验证，并实现小批量出货。 关键设备技术突破：中微公司的核心产品CCP刻蚀设备Primo D - RIE®以及下一代产品Primo AD - RIE®有近600个反应台在国际最先进的逻辑产线上量产，其中相当一部分机台应用于5纳米及更先进的生产线。此外，公司研发新产品的速度显著加快，过去通常需要三到五年开发一款新设备，现在只需两年或更短时间就能开发出有竞争力的新设备。 材料领域取得突破：天岳先进的相关产品最新市占率已跻身全球前三，在碳化硅衬底最前沿领域已全面稳固掌握晶体生长、缺陷控制、加工检测及部件自制等的全技术链条突破，并推出行业首发的全系列12英寸碳化硅衬底产品。科创半导体企业表现亮眼 企业业绩与研发并进：科创板半导体设备企业不仅在营收和利润上有较好表现，还不断加大研发投入。如晶升股份在2025年上半年营收和利润下滑的情况下，研发费用为2056.39万元，占营业收入的12.98%，同比增加2个百分点。 新企业带来新活力：国产GPU龙头摩尔线程以自主研发的全功能GPU为核心，致力于为AI、数字孪生、科学计算等高性能计算领域提供计算加速平台，填补了国内GPU领域的多项空白。其正联合国内封装测试厂商，完成Chiplet与2.5D封装（国产硅中介层）量产和测试。 ETF受市场关注：科创半导体ETF（588170）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，其成分股包括众多半导体设备和材料领域的硬科技公司。截至2025年9月15日，上证科创板半导体材料设备主题指数上涨，带动科创半导体ETF冲击4连涨。国产替代加速的原因 政策支持：在外部环境复杂多变的情况下，国家政策坚定扶持半导体行业发展，为国产替代提供了有力的政策保障。 技术进步：国内半导体企业不断加大研发投入，技术水平不断提高，在半导体材料、设备等关键领域取得了一系列突破，为国产替代奠定了技术基础。 市场需求增长：随着人工智能的快速发展，对半导体芯片的需求不断增加，为国内半导体企业提供了广阔的市场空间，推动了国产替代的进程。行业专家观点：浙商证券认为，关键半导体设备研发突破、送样验证，推动半导体设备板块业绩实现增长。国内半导体设备各细分环节正不断研发突破，快速积累自主IP，并逐步具备出海可能性。随着国内供应链在零部件、材料领域的加强，机台稳定性一致性正快速提升，头部晶圆厂采购设备国产化有望提速。
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